1、儀器應放在清潔干燥的室內（室溫20℃±5℃，濕度低于60%），避免光學零件表面污損、金屬零件生銹、塵埃雜物落入運動導軌，影響儀器性能。

2、儀器使用完畢，工作面應隨時擦干凈，最好再罩上防塵套。

3、儀器的傳動機構及運動導軌應定期上潤滑油，使機構運動順暢，保持良好的使用狀態。

4、工作臺玻璃及油漆表面臟了，可以用中性清潔劑與清水擦干凈。絕不能用有機溶劑擦拭油漆表面，否則，會使油漆表面失去光澤。

5、儀器LED光源使用壽命很長，但當有燈泡燒壞時，請通知廠商，由專業人員為您更換。

6、儀器精密部件，如影像系統、工作臺、光學尺以及Z軸傳動機構等均需精密調校，所有調節螺絲與緊固螺絲均已固定，客戶請勿自行拆卸，如有問題請通知廠商解決。

7、軟件已對工作臺與光學尺的誤差進行了精確補償，請勿自行更改。否則，會產生錯誤的測量結果。

8、儀器所有電氣接插件、一般不要拔下，如已拔掉，則必須按標記正確插回并擰緊螺絲。不正確的接插、輕則影響儀器功能，重則可能損壞系統。